欧姆龙控制柜小型化方案凭借控制柜内的设备选择和布局设计增加设备功能并减少占用空间

为了实现先进的数字社会,追求半导体的微细化/积层化,随之而来对半导体制造设备的要求将更加复杂和高性能。一方面由于控制的复杂化和高性能化导致控制点数增加,另一方面必须满足减少设备占地面积以维持产能的需求,平衡品质和缩小尺寸成为一大课题。

 

提供改善数据和方案以减少占用空间

由客户提供当前的控制柜信息,我们从17,000多款欧姆龙柜内设备产品系列中进行选择,并提供改善数据和方案。另外,统一设备系列也可实现控制柜的小型化,利于减少设备的占用空间。

 

将现有部件替换为欧姆龙产品的示意图

*1. 欧姆龙产及公司产 现有使用部件

 

欧姆龙产品构成的布局方案 兼顾小型化与高可靠性

对于影响设备性能和寿命的发热情况,其影响程度会因设备贴紧或配置顺序发生变动,需要进行事前评估并反复试错。欧姆龙已实现了同一商品间的贴紧安装,因此可以将其经验灵活运用到其他产品阵容中。对于不同产品系列的贴紧安装,可以由欧姆龙方面进行事前评估,提出保证热可靠性的布局方案。

 

以丰富的产品阵容助力提高控制柜的附加价值

与以往的设备相比,支持Value Design for Panel理念的产品其设计更为小型化、节省工时,有助于降低作业负荷。组合使用此类产品,进一步提升控制柜的价值。

 

如果您对本产品感兴趣,请扫二维码提交您的需求信息,欧姆龙工程师将尽快与您联系!

 

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